透明導電性フィルム(技術書籍S1572)

 

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★トレードオフである高透明性と高導電性を両立する! そのためのITO、ITO代替材料における材料設計のポイントとは? 
★デバイスメーカーが現場で求める実際の要求特性とは? 各用途に応じてわかりやすく解説!
★「本当に求められる特性」を満たせるデバイスメーカーからの信頼性の高い試験・評価事例!!

S1572書籍  〜タッチパネル・太陽電池・有機EL照明・電子ペーパーへの応用〜 
透明導電膜・フィルム
       高透明・低抵抗化
耐久性向上

 
 

《販売》企業研修協会       《発行》技術情報協会

 
 

  ●発刊:2010年9月 ●体裁:B5判(495頁/上製本) ●定価:88,200円円(税・送料込)

 
 

【執筆者(敬称略)

■尾池工業(株)稲守 忠広 ■尾池工業(株)保住 敏之 ■尾池工業(株)中島 義浩 ■尾池工業(株)井上 雅裕
■グンゼ(株)野田 和裕 ■SKCハース・ディスプレイフィルムズ・ジャパン(株)鈴木 優 ■日油(株)疋田 真也
■三容真空工業(株)小川 倉一  ■(株)KRI 福井 俊巳 ■<専>YIC京都工科大学校【元 帝人、元 尾池工業】杉山 征人
■関東化学(株)大城 研二 ■日揮触媒化成(株)村口 良 ■(地独)大阪市立工業研究所 中許 昌美
■東北大学 村松 淳司 ■東北大学 蟹江 澄志 ■東北大学 佐々木 隆史 ■東北大学 遠藤 瑶輔
■金沢工業大学 南 内嗣  ■宮崎大学 吉野 賢二 ■東海大学 久慈 俊郎 ■京都大学 赤木 和夫
■京都大学 鄭 龍洙 ■名古屋大学【元 東洋紡績】 小長谷 重次 ■山梨大学 厳 虎 ■山梨大学 城 俊彦
■山梨大学 奥崎 秀典 ■ナガセケムテックス(株)藤田 貴史 ■出光興産(株)黒田 憲寛
■帝人デュポンフィルム(株)浅井 真人 ■帝人デュポンフィルム(株)武久 慶太 ■帝人デュポンフィルム(株)宗像 伸枝
■千葉大学 星野 勝義 ■長岡産業(株)長岡 利典 ■長岡産業(株)上拾石 成夫 ■富士フイルム(株)田口 敏樹
■慶応義塾大学 白鳥 世明 ■慶応義塾大学 藤本 幸司 ■住友大阪セメント(株)若林 淳美
■バイエル マテリアルサイエンス(株)【元 ソニー】柿沼 孝一郎 ■(有)スミタ化学技術研究所 角田 裕三 ■埼玉大学 上野 啓司
■パナソニック エレクトロニック デバイス(株)中西 朗 ■東プレ(株)黒沢 理 ■(株)ミクロ技術研究所 西 昭次
■(株)ミクロ技術研究所 吉田 明 ■(独)産業技術総合研究所 豊島 安健  ■旭硝子(株)尾山 卓司
■昭和シェル石油(株)櫛屋 勝巳 ■島根大学 広光 一郎 ■桐蔭横浜大学 宮坂 力 ■NECインフロンティア(株)山下 俊一
■(株)タッチパネル研究所 谷 佳洋 ■(株)タッチパネル研究所【元 帝人】 板倉 義雄
 
 

<内容項目>

第1章 ITO透明導電膜の材料設計と
             高機能化のポイント 

第1節 ITO透明導電性フィルム

[1]タッチパネル用透明導電性フィルムの最新動向
 ★透明導電性フィルムの高機能・高品質化に向けた
                         製造プロセスの最適化!!


 1.透明導電性フィルムについて  
  1-1.タッチパネル用の透明導電性フィルムについて 
 2.タッチパネル用の透明導電性フィルム  
  2-1.抵抗膜方式タッチパネルの
              透明導電性フィルムについて  
  2-2.静電容量(投影型)方式タッチパネル用途に
         使用される透明導電性フィルムについて 
 3.透明導電性フィルムの表面処理について  
  3-1.表面処理:透明導電膜  
  3-2.表面処理:HC層、アンチニュートンリング層  
  3-3.表面処理:光学調整層 
 4.ウェットコーティングによる導電性フィルムについて  
  4-1.導電性高分子  
  4-2.抵抗膜方式のタッチパネルとしての組合せ  
  4-3.電極パターン形成

[2]タッチパネル用透明導電性フィルムの作製
 ★ITO膜の結晶性や電気特性に対する
                      デガス制御の重要性とは!?
   ガラス基板とプラスチック基板での
                     成膜時のデータを徹底比較!!

 1.スパッタリング装置の構成 
 2.作製手順 
  2-1.デガス工程
  2-2.ITO膜の作製
  2-3.ITO膜の評価 
 3.実験結果ならびに考察 
  3-1.QMSイオン電流
  3-2.堆積厚み 
  3-3.電気的特性 
   3-3-1.キャリヤ密度
   3-3-2.Hall移動度 
    @移動度変化のメカニズムについて       
    AO2流量比が0.05以下領域での挙動       
    B粒界ポテンシャル CX線回折の測定結果   
    D無機ガラス基板との比較 
 4.まとめ

[3]ITOフィルムの諸特性と高性能化への展望
 ★低価格・高透過率・高信頼性を実現する
                        材料設計のポイントとは?

 1.はじめに 
 2.透明導電膜の光学特性 
 3.表面抵抗特性 
 4.まとめ

[4]タッチパネル用途などにおける
             表面フィルムの技術動向

 ★ハードコート性と耐指紋性の両立と
              +αの機能を持たせる複合化技術!!

 1.反射防止フィルム「リアルック」 
  1-1.構成 1-2.基本物性 
 2.書味向上フィルム「ペンフィット」  
  2-1.構成 2-2.基本性能 
 3.耐指紋性フィルム「クリアタッチ」  
  3-1.構成 3-2.基本性能 
 4.おわりに

第2節 ITO膜加工・プロセス

[1]低温プロセスによる高性能ITO薄膜形成技術

 ★低温プロセスにおける薄膜の低抵抗化のポイントとは?
 1.はじめに 
 2.透明導電膜材料と薄膜作製法  
  2-1.透明導電膜材料 2-2.透明導電薄膜作製方法 
 3.低温プロセスによるITO薄膜作製例と諸特性  
  3-1.低電圧化マグネトロンスパッタ法による
                    ITO薄膜の作製例  
  3-2.運動エネルギー制御スパッタリング
                (KECD)によるITO薄膜  
  3-3.MHVスパッタ法によるITO薄膜  
  3-4.低エネルギーイオンプレーティングによるITO薄膜  
  3-5.パルスレーザーディポジション(PLD)法による
                            ITO薄膜
  3-6.低温プロセスによるITO薄膜の比較 
 4.今後の課題とまとめ

[2]ゾル‐ゲル法によるITO透明導電膜の
                    低温形成技術

 ★ITO膜中の構造制御によるプロセス技術の改善法とは?
 1.はじめに 
 2.ゾル‐ゲル法によるITO膜の形成 
  2-1.ゾル‐ゲル法とは 
  2-2.ITO膜の形成 
   2-2-1.各種出発原料を用いたITO膜形成 
   2-2-2.化学組成の影響 
   2-2-3.ゾル‐ゲルITO膜の微細構造制御 
  2-3.ゾル‐ゲル法によるITO膜の低温形成の可能性 
 3.光アシストゾル‐ゲル法による透明導電膜の室温形成 
  3-1.光アシストゾル‐ゲル法とは 
  3-2.光アシストゾル‐ゲル法によるITO膜の室温形成 
   3-2-1.結晶化挙動
   3-2-2.電気特性 
   3-2-3.微細構造 
  3-3.プラスチック基板上へのITO膜の形成 
 4.まとめ

[3]ITO透明導電膜の
         プラスチック基板への付着力向上
           〜ガラス基板との比較〜

 ★基材との接着性向上に向けた
           表面加工法・表面加工剤の選択法を伝授!!

 1.プラスチック基板とガラス基板 
 2.ガラス基板洗浄 
 3.プラスチックフィルムの真空中での挙動 
  3-1.水分の放出  3-2.オリゴマーの発生 
 4.プラスチック基板への膜付着力を向上させる工夫 
  4-1.アンダーコーティング(中間層) 
  4-2.物理的表面改質 
   4-2-1.光 4-2-2.電子ビーム,イオンビーム 
   4-2-3.プラズマ処理 4-2-4.化学的修飾 
 5.ITO透明導電膜の接着性向上

[4]透明導電膜用エッチング液の特性
 ★加工する材料に応じて求められる
                 エッチング液の特性の違いとは?

 1.はじめに 
 2.ITO膜エッチング液の種類 
 3.非晶質ITO膜エッチング液の特性 
 4.まとめ  
  @エッチングレートの制御  
  Aサイドエッチング(アンダーカット)の低減  
  B処理後のパターン形状(エッチングプロファイル)  
  C処理後の残渣除去性  
  D被エッチング材の表面状態
  E他材料との選択性 
 5.おわりに

第3節 ITOナノ粒子

[1]塗布型透明導電膜における
              材料設計とその応用技術

 ★透明性と導電性を両立させるための一次粒子径の
           制御・表面設計・粒子構造制御のポイントとは?

 1.はじめに 
 2.透明導電膜の設計 
  2-1.ナノコンポジット型導電性塗料 
  2-2.ナノ導電粒子設計
  2-3.バインダー設計 
  2-4.塗料設計とその応用例 
 3.透明導電膜の高機能化 
 4.今後の展開

[2]ITOナノ粒子ペーストによる透明導電膜形成
  ★スクリーン印刷に対応する ITOナノ粒子ペーストの最適調整!
 1.はじめに 
 2.ITOナノ粒子の特長 
 3.ITOナノ粒子ペーストによる透明電極の形成 
  3-1.ITOナノ粒子ペーストの調製  
  3-2.ITOナノ粒子ペーストによる透明導電膜の形成  
  3-3.ITOナノ粒子ペーストおよび
                その焼成条件の最適化  
  3-4.微細配線パターンの作製 
 4.まとめ  
  @粒子径制御可能なITOナノ粒子の
               低コスト・大量合成の実現  
  A有機被覆ITOナノ粒子による
         高性能スクリーン印刷用ペーストの調製  
  Bクラックの発生がない緻密で平滑な透明導電膜  
  C大気雰囲気下焼成で比抵抗2.9×10-3Ωcm、
               透過率99%、HAZE値2%を実現  
  Dスクリーン印刷による微細なパターン形成が可能 

[3]スパッタ法に替わる塗布法
          ITOナノインクの実用化の意義

 ★求められる低抵抗化・高透過率・低ヘイズを実現するには?
 1.はじめに 
 2.スパッタ法と塗布法 
 3.ITOナノインク調製 
 4.ITOナノ粒子合成 
 5.今後の展望

第2章 ITO代替透明導電膜の
      材料設計と高機能化のポイント 

第1節 酸化亜鉛・マグネシウム

[1]スパッタ成膜ZnO系透明導電膜の特性向上技術

  ★ZnO透明導電膜の耐湿性・耐熱性を向上させるには?
 1.はじめに 
 2.得られる膜特性とその改善技術 
  2-1.成膜方式及び使用する成膜装置依存性 
  2-2.ターゲットの最適化
  2-3.バッファー層挿入効果 
 3.電気的特性の安定性とその改善技術 
  3-1.電気的特性の膜厚依存性 
  3-2.耐湿安定性
  3-3.耐熱安定性 
 4.おわりに 

[2]低コストに向けたZnO透明導電膜の
                             塗布法による成膜技術

 ★吹き付けるだけで、室温・大気圧下で薄膜を
                          形成できる新技術とは?

 1.透明導電膜の現状 
 2.透明導電膜の物性 
 3.スプレー法によるZnO膜の作製 
  3-1.不純物効果 3-2.Ga濃度変化  
  3-3.In濃度変化 3-4.熱処理効果 
 4.低温成長 

[3]新規Mg透明導電材料の設計と評価
 ★「原子的複合化」を実現させる材料設計のポイントを伝授!!
 1.はじめに 
 2.材料設計手法とその結果 

第2節 導電性高分子

[1]導電性高分子の導電性向上と可溶化のポイント

 ★難加工性克服へ向けた各種溶剤への
                     可溶化・溶融化のポイントとは?

 1.液晶基を有するEDOT誘導体の
               化学重合および電解重合 
 2.キラル基を有する共重合体の
            合成とエレクトロクロミック特性 
 3.まとめ

[2]導電材料の薄膜化技術と導電性フィルムの開発
  ★導電性高分子の複合化とフィルム/シート化技術!!
 1.導電性高分子の複合化技術 
 2.導電性高分子複合化技術の開発 
  2-1.水溶性導電性高分子(PAS)について  
  2-2.PAS/高分子バインダー複合体及び
    そのPET積層体(導電性PETフィルム)の作製 
   2-2-1.コート法 
   2-2-2.PAS複合材積層導電性フィルム 
  2-3.PAS/PEs複合体の諸特性    
   2-3-1.表面特性 
   2-3-2.導電特性 
    @耐熱性 A耐水性 B耐延伸性
    C耐アンモニア性  
  2-4.PAS/PEs複合体の導電機構 
  2-5.応用製品 
 3.おわりに

[3]高導電性と高透明性を両立させた有機薄膜
  ★トレードオフの関係にある高透明性と高導電性を両立するには?
 1.導電性高分子 
 2.PEDOT/PSS「一次粒子単層膜」 
 3.高導電性と高透明性の両立 4.おわりに

[4]PEDOT/PSSの
        フィルム・コーティング剤への応用

 ★PEDOT/PSSを用いた高分子膜の透明性・導電性向上技術!
 1.透明導電膜の現状 
  1-1.ITOを取り巻く現状  
  1-2.透明導電性材料 
  1-3.ITOフィルムと導電性ポリマーの比較 
   1-3-1.成膜 1-3-2.特性  
  1-4.π共役系導電性ポリマー 
 2.PEDOT/PSS 
  2-1.ポリチオフェン系導電性ポリマー
             (PEDOT/PSS)の特性  
  2-2.PEDOT/PSSの導電性の向上 
 3.透明電極用デナトロン 
  3-1.代表グレードの特徴
  3-2.基材適応性 
 4.パターニング  
  4-1.リフトオフ法を応用した方法
  4-2.感光性デナトロン 
  4-3.スクリーンペースト 4-4.まとめ 
 5.おわりに

[5]溶剤可溶型高導電性ポリマーの
                透明導電膜への応用

 ★表面抵抗値の経時安定性の高い
                透明導電性フィルムを作製するには?

 1.溶剤可溶型高導電性ポリアニリンの概要 
  1-1.ポリアニリンの構造 
 2.ポリアニリンの電導度と構造変化 
  2-1.ポリアニリンの構造変化と電導度のコントロール 
  2-2.ポリアニリンフィルムの電導度の温度依存性 
  2-3.ポリアニリンフィルムの引張試験による
             構造変化と表面抵抗値の変化 
 3.まとめ

[6]導電性ポリマーを用いた
         透明導電性フィルムの耐久性向上 

 ★導電性・光学特性・耐環境性を向上させるには?
 1.透明導電フィルム 
  1-1.透明電電フィルムとは  1-2.ITOフィルム  
  1-3.ITO代替材料の開発 
 2.導電性高分子について 
  2-1.これまでの導電性高分子の開発 
  2-2.導電性高分子の実用化 
 3.新規導電フィルムCurrentFineRの特性 
  3-1.フィルム構成  3-2.CurrentFineRの光学特性 
  3-3.柔軟性 3-4.面内抵抗均一性 
  3-5.耐環境性 3-6.その他の特徴 
 4.まとめ

[7]腐食反応により創製される
            フレキシブル透明導電材料

 ★金属化合物/導電性ポリマーナノコンポジット作製法を詳説!!
 1.ポリピロール/金属化合物ナノコンポジット 
 2.ポリカルバゾール/アルミニウム化合物ナノコンポジット 
 3.ポリカルバゾール/スズ化合物及び
              ガリウム化合物ナノコンポジット 
  3-1.ナノコンポジット膜の透明度、形態、及び組成 
  3-2.電気化学用電極としての利用
  3-3.電気伝導度 
 4.ナノコンポジットインク

[8]導電性ポリマーの現状と
       フィルム・シートへのコーティング技術

 ★導電性ポリマーを均一に連続的にコーティングするには?
 1.開発の取り組みについて 
  1-1.導電性ポリマーの現状と課題 
   1-1-1.導電性ポリマーについて 
   1-1-2.導電性ポリマーの利点 
   1-1-3.導電性ポリマーの課題 
   1-1-4.当社の製品開発に当っての課題 
 2.PEFシートへの導電膜の形成 
  2-1.帯電防止PEF(NAS−PEF)開発の目標  
  2-2.導電性ポリマー塗工液の検討 
  2-3.PEDOT/PSS塗工液の特徴とイメージ 
  2-4.PEFへの導電性ポリマーコーティング 
  2-5.帯電防止PEF(NAS−PEF)の特性について 
   2-5-1.帯電防止PEFの表面状態観察 
   2-5-2.コート表面からの転写について 
   2-5-3.表面抵抗値と印加帯電圧の全減衰について 
   2-5-4.導電性ポリマー層の温湿度の影響について 
   2-5-5.導電性ポリマー層の
            耐溶剤性、耐薬品性について 
   2-5-6.導電性ポリマー層の延伸挙動への
                      追随性について 
 3.PETフィルムへの導電膜の形成  
  3-1.帯電防止PETフィルム(NAS−PET)開発の目標 
  3-2.導電性ポリマー塗工液の検討 
  3-3.グラビアコーター生産機でのコーティング 
  3-4.帯電防止PETフィルム
          (NAS−PET)の特性について 
   3-4-1.帯電防止PETフィルム
          (NAS−PET)の表面状態について 
   3-4-2.帯電防止PETフィルム
          (NAS−PET)の品質について 
 4.今後の取り組みについて 
  4-1.ベース素材の多様化 
  4-2.高導電領域への挑戦

第3節 金属ナノ粒子・ワイヤー

[1]銀塩写真技術応用による透明導電膜の
             高導電性・高透過率の実現

 ★折り曲げても抵抗値が変化しにくい、
             高耐久のフレキシブル性を実現するには?

 1.序 
 2.エクスクリアの開発 
  2-1.フレキシブル透明導電膜へ 
  2-2.白黒銀塩写真の原理とシールドレックス開発 
  2-3.透明導電膜への展開 
 3.エクスクリアの性能と特長 
  3-1.ニュートラルなグレーの色調 
  3-2.ごく低抵抗から高抵抗まで
            自在に設計できる表面抵抗値 
  3-3.80%以上の高い全光透過率 
  3-4.RolltoRollプロセスでの生産可能  
  3-5.レーザー露光により
           細線パターンが自在に描画可能 
  3-6.高い可撓性(折り曲げ性)を実現 
 4.今後の展開可能性について 
  ・無機&有機EL電極   ・タッチパネル  
  ・電子ペーパー ・太陽電池  ・透明ヒーター 
 5.最後に

[2]交互吸着法による多層膜形成と
           透明導電フィルムへの応用

 ★分子オーダーからマイクロオーダーの機能性多層膜を形成!!
 1.交互吸着法による薄膜形成 
  1-1.交互吸着法の特徴 
  1-2.薄膜の膜厚と構造制御 
 2.交互吸着法による導電性薄膜の形成 
  2-1.導電性高分子による多層膜の作製 
  2-2.導電性フィルムの耐久性 
  2-3.連続製膜 
   2-3-1.RolltoRoll方式による導電性フィルム 
   2-3-2.スプレー法による導電性薄膜の作製 
 3.おわりに

[3]ナノ粒子を使用した透明帯電防止コーティング
 ★今までにない機能を生み出すための
                材料選定とコーティング技術とは?

 1.透明帯電防止コーティング製品の概要 
 2.塗膜の電気的・光学的特性と
             導電性ネットワークの形成 
 3.塗膜表面における導電性ネットワークの形成 
 4.おわりに

[4]導電性銀ナノインク、
       カーボンナノチューブインクの
                透明フィルムへの展開

 ★プリンテッド・エレクトロニクスに対応する
                    導電性ナノインクの実力とは?

 1.導電性ナノ粒子インクとは 
  1-1.金属ナノ粒子インク 
  1-2.カーボンナノチューブ(CNT)インク 
 2.バイエル マテリアルサイエンスの
           導電性ナノ粒子インクについて  
  2-1.導電性銀ナノインク  
  2-2.導電性カーボンナノチューブインク 
 3.透明フィルムやガラスへの展開

第4節 カーボンナノチューブ・グラフェン

[1]CNTを用いた透明導電膜の作製と技術課題 

 ★分散のポイントは? 
       実用レベルでの透明性と導電性を両立するには?

 1.CNT透明導電膜の作製 
  1-1.CNTの選択  1-2.CNT分散液の調製 
  1-3.CNTナノネット膜の作製 
  1-4.高耐久性CNT透明導電膜の作製と物性評価 
 2.高透明・高導電性への一考察 
  2-1.SWNTの見直し
  2-2.分散とナノネット膜の見直し 
  2-3.化学ドーピング技術の開発 
 3.おわりに

[2]グラフェンの可溶化技術と透明導電膜への応用
 ★革新的な性能を透明導電膜に付与するグラフェンの可能性!!
 1.グラフェンの透明導電膜への応用 
 2.化学的手法を用いたグラファイト単結晶の
         単層剥離・可溶化とグラフェン薄膜作製 
  2-1.グラファイトの酸化と溶液中単層剥離 
  2-2.酸化グラフェン薄膜の塗布形成 
  2-3.酸化グラフェン薄膜の還元 
  2-4.酸化処理を行わないグラファイト単層剥離手法 
  2-5.真空中加熱における
      酸化グラフェン,グラフェン薄膜の導電性変化 
 3.グラフェン透明電極の応用例 
  3-1.グラフェン透明電極を用いた有機薄膜太陽電池 
  3-2.グラフェン透明ゲート電極を用いた
        有機薄膜電界効果トランジスタ(FET) 
 4.おわりに 

第3章 透明導電膜のデバイス応用と
               その要求特性 


第1節 タッチパネル

[1]タッチパネル用ITOフィルムの技術動向

 ★タッチパネルの構成と各種方式別による
                   透明導電膜の要求特性とは?

 1.はじめに 
 2.タッチパネル用ITOフィルムの導電特性 
  2-1.抵抗膜式タッチパネルの導電特性 
  2-2.静電容量式タッチパネルの導電特性 
  2-3.周辺回路材料 
 3.光学的諸特性 
  3-1.透過率 3-2.表面の反射防止 
  3-3.干渉縞の抑制方法 3-4.ギラツキ防止 
  3-5.狭額縁・筆記耐久3-6.基板
  3-7.他表面保護材料 
 4.静電容量式タッチパネルのその他材料 
 5.まとめ

[2]タッチパネルへの透明導電膜の応用
 ★欠損を生じやすい透明導電膜に求められる
                   打鍵性をクリアにするには?

 1.概要 
 2.抵抗膜方式透明タッチパネルの構成,動作原理  
  2-1.構成 2-2.動作原理 
 3.アナログ抵抗膜方式タッチパネルにおける
                   透明導電膜の役割 
 4.アナログ抵抗膜式タッチパネルにおける
                    要求特性と現状 
  4-1.光学特性(光線透過率・反射率)
  4-2.抵抗値 4-3.抵抗値均一性(直線性)
  4-4.耐久性 4-5.耐環境特性 
 5.まとめと今後の動向

[3]静電容量式タッチパネルの最新技術
 ★マルチタッチ化に対応する透明導電膜とパターニング手法とは?
 1.静電容量式タッチパネルの分類  
  1-1.静電タッチセンサに於ける
                静電容量式タッチパネル  
  1-2.静電容量式タッチパネルの二大方式 
 2.静電容量式タッチパネルの構造と検出原理概要  
  2-1.Surface Capacitive Touch Panel概要  
  2-2.Projected Capacitive Touch Panel概要  
  2-3.Projected Capacitive Touch Panelのパネル構成
   2-3-1.「iPhone」のタッチパネル    
   2-3-2.他のITOエッチング方式タッチパネル 
 3.静電容量式タッチパネル
            「Inner Capacitive Touch Panel」  
  3-1.静電容量式タッチパネル開発の背景  
  3-2.新静電容量式タッチパネルについて 
 4.静電容量式タッチパネルの将来の動向 
 5.おわりに

[4]ガラス/ガラスタッチパネルの特徴と特性
 ★ニュートンリングを防ぐ加工技術! 
             座標検出軸を正確に出す均一膜とは?

 1.ミクロ技術研究所の事業の背景 
 2.ガラスを基材としたタッチパネル  
  2-1.なぜガラスタッチパネルにこだわるのか 
  2-2.ガラスタッチパネルの利点と欠点    
   2-2-1.ガラスを採用するメリットについて       
    @透明電極膜はガラスの上でよく安定する      
    Aモース硬度・ピッカーズ硬度が高く、
                  キズがつきにくい
    B熱・湿度に強く、寸法安定性がよい       
    Cガラス上の高精細パターンエッチングが
                        可能である 
   2-2-2.ガラスを採用するデメリットについて       
    @割れる A曲がらない B重い       
    C枚葉生産しか出来ない 
 3.アナログ抵抗膜式タッチパネル  
  3-1.アナログ抵抗膜方式の構造  
  3-2.ミクロ技術研究所の抵抗膜式タッチパネルの特徴 
   3-2-1.構造比較    
   3-2-2.ガラス抵抗膜式タッチパネルの
                透明電極膜について    
   3-2-3.ガラス抵抗膜式タッチパネルの
                 ガラス選定について  
  3-3.サイズ・用途別    
   3-3-1.モバイル用途
   3-3-2.カーナビゲーション用途  
   3-3-3.PC用途 
 4.デジタル静電容量方式タッチパネル 
  4-1.デジタル方式静電容量タッチパネルの構造    
   4-1-1.2電極貼り合わせ方式  
   4-1-2.片面電極積層方式 
 5.デザインタッチパネルについて 6.おわりに

第2節 太陽電池

[1]太陽電池高性能化に向けた透明導電膜の役割

 ★各種太陽電池の透明電極として必要な
                 特性の基準・評価手法を探る!!

 1.はじめに 
 2.太陽電池材料と光吸収特性 
 3.発生したキャリアの収集と取り出し 
 4.薄膜シリコン系太陽電池 
 5.結晶シリコン系太陽電池 
 6.化合物薄膜系太陽電池 
 7.色素増感系太陽電池 
 8.有機半導体太陽電池 
 9.その他 10.まとめ

[2]薄膜Si太陽電池用透明導電膜ガラス基板
 ★ガラス基材の面から見た
          太陽電池用透明導電材料への要求特性は?

 1.太陽電池への期待と市場の可能性 
 2.Si系薄膜太陽電池の構造と
            ガラス基板に要求される特性 
 3.透明導電膜の現状  
  3-1.透明導電膜の光学特性  
  3-2.電子の散乱機構と移動度の向上    
   3-2-1.SnO2:F  3-2-2.ZnO系透明導電膜 
 4.おわりに

[3]CIS系薄膜太陽電池における
             透明導電膜への要求特性

 ★透明電極層の光学的透過率と電気抵抗率の
                       両立を図る最適化設計!!

 1.はじめに 
 2.変換効率向上のためにn型ZnO窓層に対する要求  
  2-1.CIS系光吸収層の
            バンドギャップ構造への最適化  
  2-2.n型高抵抗バッファ層材料に対する最適化  
  2-3.インターコネクト部を有する集積型構造での最適化 
  2-4.製膜法の量産性の検証 
 3.まとめ 

[4]酸化亜鉛透明導電膜を用いた
             有機薄膜太陽電池の特性

 ★有機薄膜太陽電池の透明導電膜には
                     どの材料が適しているのか?
 1.GZO電極とITO電極を用いた
            有機薄膜太陽電池の特性比較  
  1-1.GZOとITOを陰極に用いた場合 
  1-2.経時変化の雰囲気依存性 
  1-3.GZOとITOを陽極に用いた場合 
 2.上部電極にCuを用いた場合
   ―大気中放置による特性の大幅な向上  
  2-1.ヘテロ接合型太陽電池の特性 
  2-2.ショットキー障壁型太陽電池の特性
                ― 経時変化の機構 
  2-3.ヘテロ接合型太陽電池の経時変化の機構 
 3.おわりに

[5]有機・色素増感太陽電池に向けた
             透明導電基板と低コスト化

 ★太陽電池特有の熱や化学反応の影響を受けても
                        平気な透明電極材とは?

 1.有機系太陽電池の普及の鍵となる透明導電基板 
 2.透明導電基板に求められる特性 
  2-1.光線透過率 2-2.シート抵抗 
  2-3.耐熱・耐化学安定性 
 3.透明導電膜の種類 
 4.マイクログリッド型透明導電基板 
 5.色素増感太陽電池の電極基板開発 
 6.プラスチック色素増感太陽電池とモジュール 
 7.電極基板の劣化とセル耐久性向上 
 8.おわりに

第4章 透明導電膜・フィルム・材料の
                  評価技術
 

第1節 タッチパネルの採用における
                     透明導電膜の評価ポイント

 ★干渉縞やニュートンリングと電極材の張り合わせの
                         影響を克服するには?
   筆記の書き味、入力感、視認性、耐久性を中心とした
                      評価法のポイントを伝授!!

 1.抵抗膜感圧式タッチパネルの概略構造 
 2.3つの視点から見た問題点の分析 
  2-1.利用者の視点 
   2-1-1.入力感 
    @視差   A入力の奇跡   
    B筆記の書き味   Cデータ検出    
   2-1-2.視認性 
    @透過率,反射率,色相の変化 A干渉縞 
    Bギラツキ Cスペーサが目立つ  
  2-2.基本性能の視点 
   2-2-1.重量 @ガラスの仕様    
   2-2-2.割れ 
    @ガラスの仕様 Aタッチパネルの取り付け    
   2-2-3.出力異常 
    @耐久性 A導電性異物の混入       
    B配線接合部の信頼性       
    C面抵抗値と周辺抵抗値の比       
    D工程でのストレス,断線       
    E工程でのレジストインク残り       
    Fタッチパネルの取り付け方法       
    GFPC抜き差しの接点不良       
    HFPCの抜きずれ Iイオンマイグレーション 
    Jノイズ K制御側とのマッチング    
   2-2-4.外観不良 
    @フィルムの撓み A干渉縞
    B傷 C保護フィルムの糊残り 
    D貼り合わせ材のはみ出し 
  2-3.市場性の視点 
  2-3-1.市場 @供給性 A価格

第2節 透明導電性材料における
       用途別評価技術と材料への要求特性

 ★抵抗膜式タッチパネルの入力精度を高めるため、
                      膜均一性をどう評価する?
    静電容量方式タッチパネルの導電線間の
              絶縁抵抗の確認と抵抗値測定手法は?
     導電材の実地的な電気評価の測定技術は? 
                           用途別に探る!!

 1.透明導電性材料 
 2.ITOの使用状況と問題点 
 3.導電膜の製膜方法 
  3-1.真空蒸着法 3-2.イオンプレーティング法 
  3-3.スパッタリング法 
 4.静電容量型タッチパネル(Projective)用材料 
  4-1.パターニング材料 
 5.タッチパネル用途で求められる特性 
  5-1.電気特性評価 
   5-1-1.電気特性とは 5-1-2.タッチパネル評価機 
  5-2.摺動筆記試験 
   5-2-1.摺動筆記試験とは 
   5-2-2.タッチパネル摺動・電気特性評価機 
  5-3.打鍵試験・ON荷重測定    
   5-3-1.打鍵試験とは 5-3-2.ON荷重測定とは 
   5-3-3.打鍵試験/ON荷重測定機 
  5-4.その他の当社評価機の紹介 
   5-4-1.超高速電気特性試験機 
   5-4-2.ランダム打鍵試験機 
   5-4-3.超高荷重打鍵試験/ON荷重測定機 
   5-5.静電容量タッチパネルの電気特性 
 6.おわりに

第5章 透明導電材の
        現状・課題と今後の展開 


 ★各材料の課題を克服するための要点をピックアップ!!
   用途⇒タッチパネル、太陽電池、有機EL照明、
                        電子ペーパーなど幅広く!! 
   ITO⇒フレキシブル性付与、干渉縞の抑制方法、
                         ギラツキ防止への対応は? 
   ITO代替⇒導電性高分子、無機酸化物系、
                       ナノ粒子・ワイヤー、CNT、、、
   実用レベルでの高透明・低抵抗・高耐久化への技術要素!!

 1.序論 
 2.種々の透明導電材料 
 3.用途とITO膜質  
  3-1.LCD用 3-2.カラーフィルター(CF) 
  3-3.有機ELディスプレイ(OLED) 3-4.PDP用 
  3-5.タッチパネル 3-6.電子ペーパー 
  3-7.太陽電池用透明導電膜 3-8.その他 
 4.ITO代替の開発動向 
  4-1.ナノ粒子・ナノワイヤー
  4-2.無機酸化物系 4-3.導電性高分子
  4-4.CNT(カーボンナノチューブ) 他 
 
 

                                   【本書のポイント】  
■ITO透明導電膜の更なる高機能化への対応は?
 ◎屈曲性を向上させるITO膜中の構造制御設計とは? ◎PC、PET、、、各種ベース基材への導電膜の成膜方法は?
 ◎透過率・書味・入力特性向上へ向けた導電膜質のポイント ◎大面積成膜・低コスト化を実現する塗布型ITO膜とは? 
 ◎ITOナノ粒子を用いたITOフィルムのフレキシブル化
■ITO代替透明導膜を実用レベルにするには?
 ◎各種ITO代替材料の透明性と導電性を両立するには? ◎耐環境性の大幅な改善を実現したバインダー材料とは?
 ◎有機材料の経時劣化メカニズムと耐久性向上への工夫  ◎導電性高分子の可溶化のポイントとフィルム/シート化技術 
 ◎電気伝導度改善に向けた導電性塗液組成の最適化
■フィルム化
 ◎無機材と樹脂材の密着性向上 ◎ガラス成膜での歪み対策 ◎プラスチックへの低温成膜時の温度コントロール
■+α多機能性付与
 ◎各種フィルム(HC・AR・AG・AF・色調補正フィルムなど)との組み合わせとその効果は?
 ◎トレードオフの特性(高導電性⇔高透明性など)の両立への機能複合化設計
■+α高機能化
 ◎フレキシブルデバイスに対応するための屈曲性向上技術 ◎マルチタッチ化に対応するパターニング手法とは?
 ◎30年持つ太陽電池に向けた透明電極材料の耐久性向上技術
■フィルムへの要求特性
 ◎高透明・高導電・機械特性・耐環境性・フレキシブル性・寸法安定性・低コスト化に向けた材料設計ノウハウ
 ◎成膜しやすいベースフィルム設計のポイントは?
■製品評価項目
 ◎耐屈曲性・筆記耐久性・打鍵耐久性・耐環境性・表面平坦性など、デバイス用途に応じた豊富なデータを収録!

 
 

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